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5)智能电动/气动执行器;
6)高性能调节阀及阀门定位器;
7)eja智能变送器;成套分析、记录仪;核电仪表及装置;电气监控装置等。
(2)民用、实验与检测仪器仪表开发及产业化
1)智能水表;
2)智能电表;
3)智能燃气表;
4)光电/生物显微仪器;
5)煤矿安全仪表、虚拟仪器和多功能仪器仪表等。
3.仪表材料、传感器及元器件技术
(1)高性能仪表材料制造加工技术
1)高性能环保型贵/廉金属复合材料;
2)ic封装用复合材料;贵金属材料和贵金属器具等。
(2)高性能传感器设计与制造技术研发及产业化
1)高性能电容式传感器及数字自动补偿技术;
2)高精度硅谐振传感器;
3)高稳定性的工业陶瓷压力传感器;
4)蓝宝石压力传感器;
5)超声及雷达波检测传感器;
6)氧化锆传感器